真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，辽宁低温手套箱，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱的分类包含这三种
手套箱依照用途分为三类：
1、惰性气体手套操作箱;
2、阻隔手套箱;
3、厌1氧手套箱。
一、惰性气体手套操作箱按树立惰性气体氛围的机理不同也能够分为三类：
1、 真空手套箱：选用抽真空—充惰性气体的方法树立惰性气体氛围;
2、 循环净化手套箱：具有循环除氧除水除有机1溶剂的深度自主净化功用的手套箱，是目前先进的惰性气体手套操作箱;
3、 洗气手套箱：操作箱选用一边通入惰性气体一边排除气体的方法将箱体内的有害气体赶到手套箱外，这个过程俗称“洗气”，低温手套箱公司，然后不断地下降箱体内水氧含量;
二、阻隔手套箱，是为了阻隔有害物质对人体及特定物体的伤害。依照阻隔方法可分为二类：
1、粉尘阻隔手套箱：一般对粉尘类物质进行阻隔
2、负压阻隔手套箱：一般对有害气体选用负压阻隔
三、厌氧手套箱，是用来培育厌1氧菌，并进行相关研讨的手套箱，多用于食品、药品的厌1氧菌研讨。
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手套箱在OLED器件制作过程中的应用
OLED，即有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode），是一种全新的显示技术。与LCD相比，可视角度宽（大于170°）、响应时间快（LCD的千分之一）、低温特性好（在零下40度正常显示）、低功耗等优点，被业界广泛看好成为下一代显示技术，现在已广泛应用于车载显示器、手机显示屏等等。并且随着OLED技术发展，白光OLED在照明领域也开始崭露头角，尤其在城市照明、广告牌等行业被寄予非常高期望。
通常所说OLED其实包含小分子OLED和高分子OLED（也称PLED）两种。小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同：小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺，高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷成膜工艺。
OLED器件的制备工艺大致包括：ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层→封装→切割→测试→模块组装→产品检验等十几道工序
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